表征光电探测器性能参数主要有:量子效率、响应度、频率响应、噪声和探测度等。其中量子效率和响应度表征了光电探测器将入射光转换成光电流本领的大小,频率响应表征了光电探测器工作速度的快慢,噪声和探测度表征了光电探测器所能探测到小的入射光能量。
为了提高传输效率并且无畸变地变换光电信号,就要使相互连接的各器件都处于的工作状态,所以光电探测器要与被测信号、光学系统以及后续的电子线路在特性和工作参数上相匹配。
由于灵敏度与入射光波长关系密切。入射波长不同,探测器的灵敏度也不同,所以一般还须给出灵敏度的光谱响应特性。在光谱响应特性曲线中,探测器的光谱响应范围是峰值灵敏度下降一半时的波长范围。但对具体器件的光谱响应范围的定义可能不同。